Отражены результаты анализа термодинамической возможности протекания основных химичес-ких реакций термической диссоциации гексакарбонила хрома (Сr(CO)6) в CVD-процессе. Глубина превращений для каждой из химических реакций определялась изменением её изобарно-изотермического потенциала при заданной температуре. Результаты дают возможность прогнозировать химический состав и свойства покрытий, полученных в интервале температур от 300 до 1000°C. Установлено, что основная реакция, продуктом которой является выделение чистого хрома, термодинамически возможна при температуре процесса от 192°C, при этом глубина её протекания увеличивается с повышением температуры. Реакции, сопровождающиеся выделением веществ, обладающих высокой микротвёрдостью, наиболее интенсивно протекают в зоне низких температур: процесс образования Cr3C2 и Cr2O3 проходит активно при 200…350°C. С повышением температуры глубина протекания этих реакций резко снижается, следовательно, плёнки с высокими значениями поверхностной твёрдости могут быть получены лишь в указанном диапазоне. Полученная информация свидетельствует о возможности управлять химическим составом и механическими свойствами покрытий из газовой фазы за счёт изменения условий процесса диссоциации Сr(CO)6.