Основной задачей работы является разработка методики обеспечения равномерности роста покрытий, получаемых химическим осаждением из паровой фазы (CVD - Chemical Vapor Deposition). С целью обеспечения указанной равномерности выявлены основные критерии, влияющие на распределение покрытия по подложке. К ним относятся геометрические параметры системы для нанесения покрытий, относительное расположение её элементов и масса молекул применяемого реагента - МОС (металлоорганического соединения). Разработана оригинальная методика математической оптимизации параметров системы и относительного расположение её элементов по заданным геометрическим размерам упрочняемой детали и применяемому реагенту. Разработана программа, позволяющая задавать геометрические размеры подложки и массу молекул реагента и получать на выходе оптимальные параметры системы, обеспечивающие равномерность распределения покрытия по подложке. В статье представлены также результаты тестирования разработанной методики на примере моделирования и оптимизации системы для процесса получения карбидохромового покрытия (разложением гексакарбонила хрома) на наружной поверхности цилиндрической детали с общей длиной 200 мм и диаметром 25 мм. Экспериментально подтверждены результаты, полученные при математическом моделировании. Установлено, что равномерность распределения карбидохромового покрытия по подложке обеспечена при симметричном расположении детали относительно источника карбонила с минимальным расстоянием между ними в 0,15 м; при условии обеспечения расстояния между деталью и источником гексакарбонила хрома более 0,15 м. Установлено также, что размеры реакционной камеры не оказывают существенного влияния на распределение покрытия по подложке. Полученные в работе результаты позволили с минимальными затратами адаптировать систему для нанесения любых CVD-покрытий на цилиндрические подложки c различными геометрическими размерами и дали возможность минимизировать или даже исключить из технологических процессов восстановления и упрочнения прецизионных деталей операции финишной механической обработки.