В работе отражены результаты исследования сцепляемости покрытий, полученных методом химического парофазного разложения Cr(CO)6, c подложкой изготовленной из стали 15Х ГОСТ 4543-71. Качество сцепления покрытий с подложкой оценивалось визуально (по наличию дефектов на границе раздела покрытие-подложка). Исследовали границы раздела с помощью растрового электронного микроскопа Quanta 3D FEG производства компании FEI. Установили, что наименьшее количество дефектов на границе раздела покрытие-подложка наблюдается при следующих технологических режимах: температура подложки - 400 градусов Цельсия; температура металлоорганического соединения - 40 градусов Цельсия. Выявили, что влияние технологических режимов на прочность сцепления наблюдается при формировании первых 5…10 нм покрытия (адгезионного подслоя), изменение температуры подложки при дальнейшем наращивании плёнки не оказывает влияния на прочность сцепления. На основании результатов исследования предложили способ получения покрытий с высокими показателями микротвёрдости, включающий в себя 2 этапа: 1 - формирование адгезионного хромового подслоя толщиной 10 нм при температуре подложки 400 градусов Цельсия; 2 - формирование основного высокопрочного покрытия на основе карбидов хрома при температуре 200…300 градусов Цельсия.